[{"d":"M16 3v7h-3V9h2V7h-2V6h2V4h-2v1h-1V4H9v1H8V4H6v1H5V3zm-6-1L8.5 0 7 2zM7 14l1.5 2 1.5-2zm5-8v7H1V6zM5 7v2h3V7zM2 9h2V7H2zm2 3v-2H2v2zm4 0v-2H5v2zm3-2H9v2h2zm0-3H9v2h2z"},{"opacity":".5","d":"M15 9h-2V7h2zm-4 1H9v2h2zM8 7H5v2h3z"},{"opacity":".25","d":"M4 9H2V7h2zm4 1H5v2h3zm4-6H9v1h3z"}]